Semiconductor

SOLUȚIE BSLtech Semiconductor

Dezvoltarea expertizei dumneavoastră în industria semiconductorilor necesită adesea camere sterile sau hote cu flux laminar cu o clasă ISO ridicată (ISO 5 sau mai mare). Aveți de-a face cu procese sensibile la UV? Chiar și în acest caz, BSL furnizează camera sterilă potrivită. Camerele sterile au un finisaj de înaltă calitate al pereților și dispun de iluminat cu filtru UV. Prin utilizarea de materiale antistatice (ESD) și bare antistatice pe sistemul de filtrare, sarcina statică din aer este neutralizată.

Când nu se dorește degazarea, BSL oferă o cameră curată din materiale fără degazare (PU). Această tehnologie își are originea în industria aerospațială.

Procese tipice în industria semiconductorilor:

● Protecția substraturilor și a plachetelor de siliciu
● Cercetare EUV
● Dispozitive de aliniere a măștilor
● Acoperire în vid, depunere de peliculă subțire
● Aplicații de imprimare
● Optică

Procese front-end și back-end