Schema de aer retur secundar pentru sistemul de aer condiționat

Atelierul de microelectronice cu suprafață relativ mică a camerei curate și raza limitată a conductei de aer de retur a folosit pentru a adopta schema de retur secundar a sistemului de aer condiționat. Această schemă este, de asemenea, utilizată în mod obișnuit încamere curateîn alte industrii, cum ar fi cea farmaceutică și asistența medicală. Deoarece volumul de ventilație pentru a îndeplini cerințele de umiditate a temperaturii camerei curate este în general mult mai mic decât volumul de ventilație necesar pentru a atinge nivelul de curățenie, prin urmare, diferența de temperatură dintre aerul de alimentare și aerul de retur este mică. Dacă se utilizează schema de aer retur primar, diferența de temperatură dintre punctul de stare a aerului de alimentare și punctul de rouă al unității de aer condiționat este mare, este necesară încălzirea secundară, ceea ce duce la compensarea căldurii la rece în procesul de tratare a aerului și un consum mai mare de energie. . Dacă se utilizează schema de aer retur secundar, aerul de retur secundar poate fi utilizat pentru a înlocui încălzirea secundară a sistemului de aer retur primar. Deși reglarea raportului aerului de retur primar și secundar este puțin mai puțin sensibilă decât reglarea căldurii secundare, schema de retur secundar a fost recunoscută pe scară largă ca o măsură de economisire a energiei pentru aer condiționat în atelierele de curățare micro-electronice mici și mijlocii. .

Luați ca exemplu un atelier de curățenie de microelectronice ISO clasa 6, zona curată a atelierului de 1 000 m2, înălțimea tavanului de 3 m. Parametrii de design interior sunt temperatura tn= (23±1) ℃, umiditatea relativă φn=50%±5%; Volumul proiectat de alimentare cu aer este de 171.000 m3/h, aproximativ 57 h-1 timpi de schimb de aer, iar volumul de aer proaspăt este de 25.500 m3/h (din care volumul de aer evacuat proces este de 21.000 m3/h, iar restul este volumul de aer de scurgere de presiune pozitivă). Sarcina termică sensibilă în atelierul curat este de 258 kW (258 W/m2), raportul căldură/umiditate al aparatului de aer condiționat este ε=35 000 kJ/kg, iar diferența de temperatură a aerului retur din încăpere este de 4,5 ℃. În acest moment, volumul de aer de retur primar de
Aceasta este în prezent cea mai utilizată formă de sistem de purificare a aerului condiționat în camera curată a industriei microelectronice, acest tip de sistem poate fi împărțit în principal în trei tipuri: AHU+FFU; MAU+AHU+FFU; MAU+DC (bobină uscată) +FFU. Fiecare are avantajele și dezavantajele sale și locurile potrivite, efectul de economisire a energiei depinde în principal de performanța filtrului și a ventilatorului și a altor echipamente.

1) Sistem AHU+FFU.

Acest tip de mod de sistem este folosit în industria microelectronică ca „modul de separare a aerului condiționat și faza de purificare”. Pot exista două situații: una este că sistemul de aer condiționat se ocupă doar de aer proaspăt, iar aerul proaspăt tratat suportă toată sarcina de căldură și umiditate a camerei curate și acționează ca un supliment de aer pentru a echilibra aerul evacuat și scurgerea de presiune pozitivă. al camerei curate, acest sistem se mai numeste si sistem MAU+FFU; Celălalt este că doar volumul de aer proaspăt nu este suficient pentru a satisface nevoile de încărcare la rece și căldură ale camerei curate sau pentru că aerul proaspăt este procesat de la starea exterioară la punctul de rouă, diferența de entalpie specifică a mașinii necesare este prea mare. , iar o parte din aerul interior (echivalent cu un aer de retur) este returnat la unitatea de tratare a aerului condiționat, amestecat cu aerul proaspăt pentru tratarea căldurii și umidității și apoi trimis la plenul de alimentare cu aer. Amestecat cu aerul de retur din camera curată rămasă (echivalent cu aerul de retur secundar), acesta intră în unitatea FFU și apoi îl trimite în camera curată. Din 1992 până în 1994, al doilea autor al acestei lucrări a cooperat cu o companie din Singapore și a condus mai mult de 10 studenți absolvenți să participe la proiectarea întreprinderii mixte SUA-Hong Kong SAE Electronics Factory, care a adoptat cel din urmă tip de purificare a aerului condiționat și sistem de ventilație. Proiectul are o cameră curată ISO Clasa 5 de aproximativ 6.000 m2 (din care 1.500 m2 au fost contractați de Agenția Japoneză pentru Atmosfera). Camera de aer condiționat este dispusă paralel cu partea camerei curate de-a lungul peretelui exterior și numai adiacent coridorului. Conductele de aer proaspăt, de evacuare și de retur sunt scurte și aranjate fără probleme.

2) Schema MAU+AHU+FFU.

Această soluție se găsește în mod obișnuit în instalațiile de microelectronice cu cerințe multiple de temperatură și umiditate și diferențe mari de încărcare de căldură și umiditate, iar nivelul de curățenie este, de asemenea, ridicat. Vara, aerul proaspăt este răcit și dezumidificat până la un parametru fix. De obicei, este adecvat să se trateze aerul proaspăt până la punctul de intersecție al liniei entalpie izometrice și linia de umiditate relativă de 95% a camerei curate cu temperatură și umiditate reprezentative sau a camerei curate cu cel mai mare volum de aer proaspăt. Volumul de aer al MAU este determinat în funcție de nevoile fiecărei camere curate pentru a reumple aerul și este distribuit în UTA a fiecărei camere curate cu țevi în funcție de volumul necesar de aer proaspăt și este amestecat cu puțin aer de retur interior pentru căldură. si tratarea umiditatii. Această unitate suportă toată sarcina de căldură și umiditate și o parte din noua încărcătură de reumatism a camerei curate pe care o deservește. Aerul tratat de fiecare UTA este trimis la plenul de aer de alimentare din fiecare cameră curată, iar după amestecarea secundară cu aerul de retur din interior, este trimis în încăpere de către unitatea FFU.

Principalul avantaj al soluției MAU+AHU+FFU este că, pe lângă asigurarea curățeniei și a presiunii pozitive, asigură și diferitele temperaturi și umiditate relativă necesare pentru producerea fiecărui proces de cameră curată. Cu toate acestea, de multe ori, din cauza numărului de AHU configurate, ocupă suprafața camerei este mare, camera curată aer proaspăt, aer retur, conducte de alimentare cu aer încrucișate, ocupă un spațiu mare, aspectul este mai supărător, întreținerea și gestionarea este mai dificilă și complex, prin urmare, nu există cerințe speciale pe cât posibil pentru a evita utilizarea.